Průlomový mikroskop umožní výrobu nové generace čipů

Praha 6. ledna (PROTEXT) - Přístroj FEI HeliosTM G4, vyráběný americkou společností Thermo Fisher Scientific v technologickém centru na Černovických terasách, přináší hned několik zásadní novinek, na které je zažádáno o patentovou ochranu. Pro materiálový výzkum a polovodičový průmysl je průlomem schopnost přístroje vytvářet ultratenké lamely z přesně definovaných oblastí až do tloušťky 7 nm. Takové lamely jsou nezbytné pro analýzu na atomové úrovni v transmisním elektronovém mikroskopu. Vyrobit tak tenký a nepoškozený vzorek vyžaduje maximální, dosud technicky nezvládnutelnou šetrnost. Naprosto zásadní je zvláště pro výrobce čipů a elektroniky také rychlost, s jakou umí přístroj tenkou lamelu vytvořit. Jen v elektronickém průmyslu jich jeden výrobce potřebuje stovky tisíc za rok a nově je může vyrábět až s 25% úsporou času. Mimo to umožňuje novinka také mnohem komfortnější manipulaci se vzorkem, automatizované ovládání, čímž klade menší nároky na obsluhu přístroje a minimalizuje lidskou chybu. Kontakt: e-mail: marketa.jankova@fei.com ČTK ke zprávě vydává obrazovou přílohu, která je k dispozici na adrese http://www.protext.cz